Главная Автоматизация процессов 1 2 [ 3 ] 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 1.2. Микро-ЭВМ и сенсорика Сочетание датчик - ЭВМ - исполнительное ройство представляет собой информационную систему. Для упрощения сопряжения датчика с микро-ЭВМ была бы предпочтительна выдача датчиком цифровой информации. Но, к сожалению, в природе и технике информация существует в основном в виде аналоговых величин, которые для обработки сигнала в Центральный процессор Датчики Управление периферией Исполни-тельные устройства Система питания Рис. 1.2.1. Информационная система, включающая в себя датчик в качестве пассивного чувствительного элемента (получение сигнала) и исполнительные устройства в качестве активных преобразователей сигнала. ЭВМ должны быть трансформированы в цифровые с помощью аналого-цифрового преобразователя (АЦП). Полная информационная система представлена на рис. 1.2.1. Здесь показано прохождение сигнала от его возникновения в датчике с последующей обработкой в ЭВМ и до выхода к исполнительным устройствам. 1.3. Технология изготовления датчиков Технология изготовления датчиков чаще всего определяется известными способами изготовления полупроводниковых интегральных схем. Общее представление об этих способах изготовления с. их достоинствами и недостатками дает табл. 1.3.1, Таблица I.3.L Основные виды технологии изготовления объемных и пленочных датчиков, совместимых с микроэлектроникой Кремниевая технология Тонкопленочная технология Толстопленочная технология Входные величины Удлинение (тензодатчи- Удлинение (тензодатчики) ки) Температура Магнитное поле Свет, ИК-излучение (Состав и концентрация газа) Температура Магнитное поле Свет, ИК-излучение (Емкость) (Состав и концентрация газа) (Удлинение (тензодатчи* ки)) Температура (Магнитное поле) Ёмкость
Возможность встраивания На одном кристалле (мо- На одной подложке гиб- На одной подложке нолитно) в виде ИС ридная технология) {гибридная технология)
|